Semiconductor chemicals

• Procédé de fabrication des Circuits Intégrés
• La pureté : un devoir
• Une gamme de produits satisfaisant aux critères de pureté les plus élevés
• Une gamme de produits au service du marché de l'électronique

Rhodia Electronics & Catalysis est un fournisseur de produits chimiques destinés à la fabrication de circuits intégrés et propose une gamme de produits variés : solvants de "photoresist and packaging polymer", "etching agent", "stripper additives" et monomères pour polymères. Afin de mieux comprendre l'intégration de nos produits dans la fabrication de Circuits Intégrés, intéressons-nous aux différentes étapes de fabrication d'un circuit intégré.

• Procédé de fabrication des Circuits Intégrés

Dopage et oxydation
Les lingots solides de silicium polycristallin, débités en tranches fines sont polis très minutieusement afin de garantir une surface des plus régulières. Après l'avoir parfaitement purifié, un autre matériau (type Bore, Phosphore, Arsenic ou encore Antimoine) est introduit au cœur du silicium, modifiant de façon importante le comportement électrique du silicium.
L'oxydation permet ensuite de faire croître une couche d'oxyde sur la plaquette de silicium par combinaison, à haute température, de l'oxygène contenu dans la vapeur d'eau et du silicium en surface de la plaquette.

Photolithographie et développement
La photolithographie consiste à déposer une couche de résine photosensible sur la plaquette de silicium oxydée. Cette résine est ensuite irradiée au travers d'un masque comportant une partie du motif de la puce. Cette irradiation change la solubilité du polymère : celui-ci devient soluble ou insoluble suivant le type de résine utilisée (positive ou négative).
La résine dite " soft " (partie la plus soluble) est ainsi éliminée grâce à un développeur adaptée (solution aqueuse ou solvant organique).

Etching et stripping
Le but de l'opération est maintenant d'éliminer l'oxyde laissé apparent dans la phase précédente par voie chimique (gravure humide à l'acide ou Wet etching) ou mécanographique (gravure sèche au plasma ou dry etching). La résine sert de masque pour la couche d'oxyde.
Le stripping consiste ensuite à éliminer complètement la résine (partie dite " hard " du polymère) sur la surface de la plaquette à l'aide de solvant organique. Ces solutions attaquent la résine mais pas l'oxyde qui recouvre, seul alors, la surface de la plaquette aux endroits choisis par le masquage initial.

Diffusion
Le but de cette opération appelée aussi dopage est de déposer et de diffuser un dopant dans les zones déterminées par les étapes précédentes : dosage de type N (Négatif) ou de type P (Positif).

Ces quatre étapes, répétées plusieurs fois, permettront la construction du semi-conducteur.

Planarisation
Après ces précédentes étapes, la surface du semi-conducteur ainsi créé est polie par un procédé appelé CMP (Chemical Mechanical Planarization). Ce procédé allie une action mécanique à une action chimique.

• La pureté : un devoir

Les produits chimiques utilisés en électronique exigent des spécificités en terme de pureté très pointues. Des traces, même infimes, d'impuretés déposées à la surface d'un semi-conducteur peuvent endommager et amoindrir les performances finales du produit.

• Une gamme de produits satisfaisant aux critères de pureté les plus élevés

Pour satisfaire les exigences les plus pointues, Rhodia Electronics & Catalysis développe des grades haute pureté de ses produits les mieux connus.

Acides pour etching

Solvants pour photoresists et photopolymers

" Looking for a solvent ? Think RHODIASOLV™"

Rhodia propose une gamme de solvants sous la marque RHODIASOLV™ :

• Rhodiasolv™.CPT.XP , ULSI (Cyclopentanone) : solvant aprotique, inerte, très faible toxicité.
• Rhodiasolv™.MPE.XP (Anisole) : excellent solvant, haut point d'ébullition, faible toxicité, facilement recyclable.
• Rhodiasolv™.BTF.XP (Benzenetrifluoride) : excellent substituant des solvants chlorés, polaire, faible toxicité, haut point d'ébullition.
• Rhodiasolv™.IAA (Isoamyl Acetate)
• Phenetole
• Cyclopentanol

RHODIASOLV™ est une gamme de solvants spécialement destinés au marché de l'électronique grâce à sa très haute pureté (moins de 5 ppb d'impuretés métalliques).

Inhibiteurs de corrosion
• Catechol (Flakes)
• Tertiobutyl Catechol (TBC) 85% Methanol
• Tertiobutyl Catechol (TBC) 85% Water
• Tertiobutyl Catechol (TBC) Flakes

Photoresist Monomer
• Salicylaldehyde

CMP (Polissage Chimique et Mécanique)
• Polishing Opaline SM2
• Polishing Opaline

Matériau brut pour Cerium Ammonium Nitrate (CAN)
• Cerium Hydroxide 90

• Une gamme de produits au service du marché de l'électronique

Notre expérience du marché de l'électronique nous permet de proposer une gamme de produits chimiques avec un potentiel d'application en adéquation avec les exigences électroniques.

Solvants
Rhodia offre une gamme de solvants apportant des solutions complémentaires à l'utilisation de solvants classiques : trifluoroethanol, trifluoroanisole, trifluoroacetic acid, diisopropylketon, salicylate de benzyle, salicylate d'hexyle….

Photoacid generator (PAG) : acide triflique, triflic derivates (CF3SO₂)2NLi

Inhibiteur de corrosion : Acide Salicylique

Metallization additives : acide triflique

Rhodia développe également de nouveau produits en adéquation avec ses compétences et en étroite collaboration avec ses clients.

• Contacts

Si vous désirez de plus amples informations, contactez-nous :
ec-electronics@eu.rhodia.com